[实用新型]具有清洁功能的研磨装置有效
| 申请号： | 201920232303.4 | 申请日： | 2019-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN210160074U | 公开（公告）日： | 2020-03-20 |
| 发明（设计）人： | 吴振维;王海宽;吴龙江;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/02;B08B3/08;B24B55/06 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 该实用新型涉及一种具有清洁功能的研磨装置，包括：吸盘，用于吸附待研磨的晶圆；清洗液喷头，用于朝向吸盘喷淋清洗液；超声波发射器，用于朝向吸盘表面发射超声波；金属氧化物放置腔，设置于清洗液喷头内，用于放置金属氧化物，且金属氧化物放置腔的腔壁设置有通孔，用于供清洗液通过。本实用新型的具有清洁功能的研磨装置具有清洗液喷头和超声波发射器，在所述清洗液喷头内设置金属氧化物放置腔，使自清洗液喷头喷出的清洗液中夹带金属氧化物，以氧化沉积的疏水性硅残渣为亲水性，并在超声波的共同作用下，优化吸盘的清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 清洁 功能 研磨 装置 | ||
【主权项】：
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