[实用新型]微型气体输送装置

摘要

一种微型气体输送装置，包括依序堆叠的设置的进气板、共振片、压电致动器、绝缘片及导电片。进气板具有进气孔、汇流排孔及汇流腔室。共振片具有中空孔。压电致动器与共振片之间定义腔室空间，压电致动器包含悬浮板、外框、连接部及压电元件，连接部连接于悬浮板及外框之间，并定义间隙以供气体流通。导电片具有导电内引脚，用以电连接压电元件。当压电致动器受驱动时，气体由进气孔导入，流经汇流腔室、中空孔导入腔室空间内，再经由间隙排出，以实现气体的传输。

主权项

1.一种微型气体输送装置，其特征在于，包括：/n一进气板，具有至少一进气孔、至少一汇流排孔及一汇流腔室，其中至少一该进气孔供导入气体，至少一该进气孔对应至少一该汇流排孔，至少一该汇流排孔对应连通该汇流腔室，且引导气体经由至少一该进气孔汇流至该汇流腔室内；/n一共振片，贴合组接于该进气板，具有一中空孔、一可动部及一固定部，该中空孔位于该共振片中心处，并与该进气板的该汇流腔室相对应；/n一压电致动器，透过一填充材组接结合于该共振片上，构成一腔室空间，该压电致动器包含一悬浮板、一外框、至少一连接部、一压电元件及至少一间隙，至少一该连接部连接于该悬浮板及该外框之间提供弹性支撑，至少一该间隙设置于该悬浮板及该外框之间提供气体流通，而该压电元件贴合于该悬浮板；/n一绝缘片，结合于该压电致动器的一侧；以及/n一导电片，与该绝缘片相结合，具有一体冲压制出的一导电内引脚，由该导电片的任一边上向内延伸出一导电位置，供以与该压电元件的表面接触接合定位连接；/n其中，该压电致动器受驱动时，使气体由该进气板的至少一该进气孔导入，经至少一该汇流排孔汇集至该汇流腔室，再流经该共振片的该中空孔导入该腔室空间内，再经该压电致动器共振作用传输气体。/n