[实用新型]一种带充气功能的超高真空自动排气台有效
| 申请号： | 201920238822.1 | 申请日： | 2019-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN209943053U | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 葛明;鄢敏;鲁亮;袁辰 | 申请（专利权）人： | 成都无极真空科技有限公司 |
| 主分类号： | F04B41/06 | 分类号： | F04B41/06;F04B39/10;F04B37/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610000 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种带充气功能的超高真空自动排气台，包括机架，所述机架内侧分别设有检测组件、充气抽气组件和真空组件，所述充气组件和真空组件均通过连接管路与检测组件连通，所述检测组件包括检测台，所述检测台侧面设有数个工位截止阀，所述充气抽气组件包括充气用不锈钢接管、充气用气动截止阀和抽气用气动截止阀，所述充气用气动截止阀通过微孔管道与充气用不锈钢接管连通，所述抽气用气动截止阀通过大孔抽气管与充气用不锈钢接管连通，所述充气用气动截止阀和抽气用气动截止阀通过连接管路与检测台连通，所述真空组件包括干泵、涡轮分子泵和离子泵。本实用新型能够获得超高真空，同时可实现对每个工位精确控制的自动充气。 | ||
| 搜索关键词： | 充气 气动截止阀 连通 不锈钢接管 检测组件 真空组件 检测台 抽气 本实用新型 超高真空 抽气组件 连接管路 工位 涡轮分子泵 自动排气台 充气功能 充气组件 微孔管道 自动充气 抽气管 截止阀 离子泵 大孔 干泵 侧面 | ||
【主权项】：
1.一种带充气功能的超高真空自动排气台，包括机架，其特征在于：所述机架内侧分别设有检测组件、充气抽气组件和真空组件，所述充气抽气组件和真空组件均通过连接管路与检测组件连通，所述检测组件包括检测台，所述检测台侧面设有数个工位截止阀，所述工位截止阀远离检测台的一端设有工位波纹管可伐玻璃，所述充气抽气组件包括充气用不锈钢接管、充气用气动截止阀和抽气用气动截止阀，所述充气用气动截止阀通过微孔管道与充气用不锈钢接管连通，所述微孔管道内部的小孔直径小于0.05mm，所述抽气用气动截止阀通过大孔抽气管与充气用不锈钢接管连通，所述充气用气动截止阀和抽气用气动截止阀通过连接管路与检测台连通，所述真空组件包括干泵、涡轮分子泵和离子泵，所述干泵通过连接管路与涡轮分子泵连通，所述连接干泵和涡轮分子泵的连接管路上分别设有压差阀、热偶规和检漏阀，所述涡轮分子泵和离子泵通过连接管路与检测台连通，所述连接涡轮分子泵和离子泵与检测组件的连接管路上分别设有电容薄膜规和电离规。/n
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