[实用新型]一种硅片退火炉

摘要

本实用新型公开一种硅片退火炉，其包括机架、反应室、设置反应室内的退火炉体和气源柜，退火炉体设置为两个，加热和供气均为单独控制，反应室正上方罩设有排风罩，退火炉体的中部为核心区段，两端为预热区段，各区段加热均为单独控制，退火炉体进气端设置有均风板，另一端设置吸风盘，吸风盘设置有排风孔，吸风盘内设置风道连通排风孔，风道出口端朝向排风罩设置，吸风盘外侧盘面上设置有多条通风槽，每条通风槽与反应室壁上设置的通风孔对应。该退火炉为双炉体单独控温设置，且能够实现保护气体的均匀分布，炉体分区控温进一步提升退火温度的稳定性，提升了硅片的退火品质，另外该退火炉可及时排出多余保护气体，防止散失到环境中污染环境。