[实用新型]半导体晶片用组合结构砂轮有效
申请号: | 201920240462.9 | 申请日: | 2019-02-26 |
公开(公告)号: | CN209665143U | 公开(公告)日: | 2019-11-22 |
发明(设计)人: | 朱光伟;杨宁 | 申请(专利权)人: | 江苏芯工半导体科技有限公司 |
主分类号: | B24D5/14 | 分类号: | B24D5/14;B24D5/16 |
代理公司: | 32260 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 王闯<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
地址: | 215600 江苏省苏州市张家港市锦丰镇*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种半导体晶片用组合结构砂轮,包括用于粗磨的粗磨砂轮片、用于精磨的精磨砂轮片及用于半精磨的半精磨砂轮片,粗磨砂轮片、半精磨砂轮片、精磨砂轮片依次同轴叠放;粗磨砂轮片、半精磨砂轮片、精磨砂轮片中的上下相邻的两个砂轮片,其中上方的砂轮片的下侧设有锥台,下方的砂轮片的上侧设有与所述锥台定位配合的锥形槽,且相邻两个砂轮片之间设有间隙;粗磨砂轮片、半精磨砂轮片及精磨砂轮片在轴向上通过螺栓组进行固定连接;当其中一个砂轮片磨损较严重时,可单独更换,而不用整体报废,延长砂轮使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 砂轮片 半精磨 粗磨砂轮 精磨砂轮 砂轮 锥台 半导体晶片 本实用新型 单独更换 定位配合 使用寿命 同轴叠放 整体报废 组合结构 螺栓组 锥形槽 粗磨 精磨 磨损 | ||
【主权项】:
1.半导体晶片用组合结构砂轮,其特征在于:包括用于粗磨的粗磨砂轮片、用于精磨的精磨砂轮片及用于半精磨的半精磨砂轮片,粗磨砂轮片、半精磨砂轮片、精磨砂轮片依次同轴叠放;粗磨砂轮片、半精磨砂轮片、精磨砂轮片中的上下相邻的两个砂轮片,其中上方的砂轮片的下侧设有锥台,下方的砂轮片的上侧设有与所述锥台定位配合的锥形槽,且相邻两个砂轮片之间设有间隙;粗磨砂轮片、半精磨砂轮片及精磨砂轮片在轴向上通过螺栓组进行固定连接。/n
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