[实用新型]一种可吹扫的黑硅制绒装置

摘要

本实用新型公开了一种可吹扫的黑硅制绒装置，包括机械臂、预脱水槽槽体和晶片篮，所述预脱水槽槽体的顶部设置有开口，所述预脱水槽槽体内盛有纯水液，位于纯水液液面以上的预脱水槽槽体侧壁上安装有气体通孔，气流自预脱水槽槽体外穿过若干个气体通孔吹向预脱水槽槽体内部，所述机械臂的下段连接有晶片篮，所述晶片篮内放置若干块硅片，所述机械臂带动晶片篮上下运动；本实用新型在硅片烘干前的预脱水槽中使用，在气液界面附近增加气体通孔，压缩空气自气体通孔喷入预脱水槽槽体内，在预脱水过程中，机械臂将硅片缓慢从纯水中提升脱水，离开液面的一瞬间，硅片经过压缩空气的吹扫，快速地将硅片上残余的水分吹干，防止硅片间粘黏在一起。

主权项

1.一种可吹扫的黑硅制绒装置，其特征在于：包括机械臂(1)、预脱水槽槽体(2)和晶片篮(3)，所述预脱水槽槽体(2)的顶部设置有开口，所述预脱水槽槽体(2)内盛有纯水液(5)，位于纯水液(5)液面以上的预脱水槽槽体(2)侧壁上安装有气体通孔(8)，气流(10)自预脱水槽槽体(2)外穿过若干个气体通孔(8)吹向预脱水槽槽体(2)内部，所述机械臂(1)的下段连接有晶片篮(3)，所述晶片篮(3)内放置若干块硅片(4)，所述机械臂(1)带动晶片篮(3)上下运动。