[实用新型]一种基于QMEMS工艺的压电石英频率片腐蚀机有效
| 申请号： | 201920245577.7 | 申请日： | 2019-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN208776585U | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 竹文坤;李辉;龙利;陆旺 | 申请（专利权）人： | 西南科技大学 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00;H03H3/04 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 贾晓燕 |
| 地址： | 621010 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于QMEMS工艺的压电石英频率片腐蚀机，包括：壳体；旋转平台，其通过安装支架安装于壳体底部；用于储存腐蚀液的腐蚀槽，其设置在旋转平台上；用于清洗石英晶片的喷淋清洗池和浸泡清洗池，其设置在旋转平台上；喷淋清洗池和腐蚀槽对称安装于旋转平台旋转轴两侧，浸泡清洗池位于腐蚀槽和喷淋清洗池另一侧；位于壳体上部的升降电机，其下端通过支架安装有放置石英晶片的晶片篮，升降电机位于旋转平台的上方，通过升降电机将可石英晶片伸入腐蚀槽或清洗槽。本实用新型提高了压电石英频率片制备效率，同时满足了加工压电石英频率片小型化、精密化的要求，可以使厚度更薄、更高频率的压电石英频率片受到均匀腐蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转平台 压电石英 频率片 腐蚀槽 喷淋清洗池 升降电机 石英晶片 本实用新型 浸泡清洗池 腐蚀机 壳体 安装支架 对称安装 壳体上部 支架安装 腐蚀液 高频率 晶片篮 清洗槽 旋转轴 伸入 下端 制备 精密 清洗 储存 腐蚀 加工 | ||
【主权项】：
1.一种基于QMEMS工艺的压电石英频率片腐蚀机，其特征在于，包括：壳体；旋转平台，其通过安装支架安装于所述壳体底部；用于储存腐蚀液的腐蚀槽，其设置在旋转平台上；用于清洗石英晶片的喷淋清洗池，其具有用于冲洗喷淋的喷头，喷淋清洗池安装在旋转平台上，且所述喷淋清洗池和腐蚀槽对称安装于旋转平台旋转轴两侧；浸泡清洗池，其设置在旋转平台上，且位于腐蚀槽和喷淋清洗池中心轴线一侧；位于壳体上部的升降电机，其下端安装有放置石英晶片的晶片篮，晶片篮与升降电机通过支架连接，所述升降电机位于旋转平台的上方，且可通过升降电机将石英晶片伸入腐蚀槽、浸泡清洗池或喷淋清洗池对石英晶片进行处理。
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