[实用新型]一种降低晶体缺陷的单晶炉有效
申请号: | 201920248345.7 | 申请日: | 2019-02-27 |
公开(公告)号: | CN209873178U | 公开(公告)日: | 2019-12-31 |
发明(设计)人: | 刘冬雯 | 申请(专利权)人: | 刘冬雯 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B29/06 |
代理公司: | 33224 杭州天勤知识产权代理有限公司 | 代理人: | 褚超孚 |
地址: | 226000 江苏省南通*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种降低晶体缺陷的单晶炉,属于单晶炉设备技术领域,包括坩埚和包围在坩埚外面的加热器,加热器包括加热筒体和设置在加热筒体底部的至少四个电极脚;加热筒体由上下迂回的U字型石墨条制成;加热器的高度不高于坩埚内溶体的高度,加热筒体的高度为加热器总高度的1/3~2/3;坩埚与加热器之间设有相对移动的驱动机构。筒形结构通过正负电极形成电流回路。为减小能量流失,通过加宽加厚电极脚达到减小发热器的发热来实现。设置四个以上的电极脚以保证加热器的中心对称性。在坩埚与加热器设置驱动机构可以用于调节加热器与坩埚内溶液高度的相对位置,保证加热器的高度不高于坩埚内溶体的高度,从而提高单晶的质量。 | ||
搜索关键词: | 加热器 坩埚 加热筒体 电极脚 驱动机构 减小 溶体 本实用新型 单晶炉设备 中心对称性 电流回路 晶体缺陷 能量流失 筒形结构 相对移动 正负电极 加厚 单晶炉 发热器 石墨条 单晶 加宽 发热 迂回 包围 保证 | ||
【主权项】:
1.一种降低晶体缺陷的单晶炉,包括坩埚和包围在所述坩埚外面的加热器,其特征在于:/n所述加热器包括加热筒体和设置在所述加热筒体底部的至少四个电极脚;所述加热筒体由上下迂回的U字型石墨条制成;/n所述加热器的高度不高于所述坩埚内溶体的高度,所述加热筒体的高度为所述加热器总高度的1/3~2/3;所述坩埚与所述加热器之间设有相对移动的驱动机构。/n
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