[实用新型]一种具有抗污炉带的烘箱有效
申请号: | 201920250165.2 | 申请日: | 2019-02-27 |
公开(公告)号: | CN209869683U | 公开(公告)日: | 2019-12-31 |
发明(设计)人: | 颜大安 | 申请(专利权)人: | 浙江艾能聚光伏科技股份有限公司 |
主分类号: | B41F23/04 | 分类号: | B41F23/04 |
代理公司: | 33304 杭州永航联科专利代理有限公司 | 代理人: | 罗伟清 |
地址: | 314300 浙江省嘉*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种具有抗污炉带的烘箱。它解决了现有烘箱中的炉带密度太大,影响硅片背面热量扩散,对抽风吸走油污也有较大影响,使用效果差等技术问题。本具有抗污炉带的烘箱,包括基座,基座中部通过支撑脚固定有箱体,基座上设置有用于输送硅片的输送机构,输送机构包括主轴、从轴和抗污炉带,主轴水平转动设置在基座一端,从轴水平转动设置在基座另一端,抗污炉带套设在主轴与从轴之间,抗污炉带的材料为不锈钢,抗污炉带包括用于支撑硅片的支撑带体和用于传输的两个传输带体,两个传输带体分别连接在支撑带体两侧,且支撑带体的网丝密度小于传输带体的网丝密度。本实用新型具有使用效果好的优点。 | ||
搜索关键词: | 炉带 抗污 烘箱 支撑带体 传输带 从轴 本实用新型 输送机构 硅片 网丝 抽风 硅片背面 热量扩散 水平转动 主轴水平 转动设置 大影响 支撑脚 油污 不锈钢 传输 支撑 | ||
【主权项】:
1.一种具有抗污炉带的烘箱,包括基座,其特征在于,所述基座中部通过支撑脚固定有箱体,箱体一端具有入口,箱体另一端具有出口,箱体内还固定有若干电加热管,基座上设置有用于输送硅片的输送机构,输送机构包括主轴、从轴和抗污炉带,主轴水平转动设置在基座一端,主轴端部与一能带动其转动的动力结构相连,从轴水平转动设置在基座另一端,抗污炉带套设在主轴与从轴之间,且抗污炉带从入口穿入并从出口穿出,抗污炉带的材料为不锈钢,抗污炉带包括用于支撑硅片的支撑带体和用于传输的两个传输带体,两个传输带体分别连接在支撑带体两侧,且支撑带体的网丝密度小于传输带体的网丝密度。/n
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