[实用新型]生产高纯碳化硅用原料硅源的提纯装置有效
| 申请号： | 201920255371.2 | 申请日： | 2019-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN209835648U | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 李显坪;陈琦;唐宝发 | 申请（专利权）人： | 扬州中天利新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 32106 扬州市锦江专利事务所 | 代理人： | 江平 |
| 地址： | 225000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 生产高纯碳化硅用原料硅源的提纯装置，涉及高纯硅源/碳源得到的高纯硅和高纯碳高温合成法生产高纯碳化硅的工业化生产技术，特别是碳化半导体用高纯碳化硅的合成设备的技术领域，主要由蒸馏釜、精馏塔、冷却器、接受罐和尾气处理装置组成；选用低沸点的硅源和碳源进一步提纯确保提纯后合成高纯碳化硅原料的纯度，在此实施了硅源的提纯装置。本装置的特点是：简单、合理、节能、环保、高效。 | ||
| 搜索关键词： | 高纯碳化硅 提纯装置 高纯硅 提纯 硅源 工业化生产技术 尾气处理装置 高温合成法 合成设备 低沸点 高纯碳 接受罐 精馏塔 冷却器 原料硅 蒸馏釜 碳化 半导体 合成 节能 生产 环保 | ||
【主权项】：
1.生产高纯碳化硅用原料硅源的提纯装置，其特征在于主要由蒸馏釜、精馏塔、冷却器、接受罐和尾气处理装置组成；所述蒸馏釜设置温控装置，蒸馏釜内置搅拌器，蒸馏釜的馏出端与精馏塔的进料端连通，精馏塔的出料端通过冷却器的内部物料管道与接受罐连通，尾气处理装置连接在接受罐连通的排气口上；接受罐内部设置冷凝盘管，接受罐外部设置冷冻水罐体夹套；冷却器的外冷却循环系统、接受罐的冷冻水罐体夹套和盘管分别通过管道和冷冻机相连。/n
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