[实用新型]一种光学元件检测装置有效
申请号: | 201920258399.1 | 申请日: | 2019-02-28 |
公开(公告)号: | CN209639689U | 公开(公告)日: | 2019-11-15 |
发明(设计)人: | 李安林;王宇;梁振兴 | 申请(专利权)人: | 眉山博雅新材料有限公司 |
主分类号: | G01B11/30 | 分类号: | G01B11/30 |
代理公司: | 51251 成都三诚知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 成实;饶振浪<国际申请>=<国际公布>= |
地址: | 620000四川省眉山*** | 国省代码: | 四川;51 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本实用新型公开了一种光学元件检测装置,其特征在于:包括激光干涉仪(1),与激光干涉仪(1)电连接的比对机构(2);所述比对机构(2)包括箱体(21),安装在箱体(21)内部且依次排列的屏幕(26)、第一镜头(25)以及分划板(24);所述屏幕(26)与激光干涉仪(1)电连接,且屏幕(26)、第一镜头(25)以及分划板(24)均在同一中心轴线上;所述分划板(24)上雕刻有用于与屏幕(26)上形成的光路干涉图进行比对的标准像(241)。本实用新型通过屏幕显示激光干涉仪的光路干涉图,屏幕上的光路干涉图经过第一镜头后成像到分划板上。 | ||
搜索关键词: | 分划板 激光干涉仪 屏幕 干涉图 比对 光路 本实用新型 电连接 镜头 光学元件检测 激光干涉 屏幕显示 同一中心 依次排列 成像 雕刻 | ||
【主权项】:
1.一种光学元件检测装置,其特征在于:包括激光干涉仪(1),与激光干涉仪(1)电连接的比对机构(2);所述比对机构(2)包括箱体(21),安装在箱体(21)内部且依次排列的屏幕(26)、第一镜头(25)以及分划板(24);所述屏幕(26)与激光干涉仪(1)电连接,且屏幕(26)、第一镜头(25)以及分划板(24)均在同一中心轴线上;所述分划板(24)上雕刻有用于与屏幕(26)上形成的光路干涉图进行比对的标准像(241)。/n
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