[实用新型]一种简易操作的晶圆转换器

摘要

本实用新型提供一种简易操作的晶圆转换器，包括载台、第一轨道、第二轨道、第一定位装置、第二定位装置和推手。在载台对齐安装第一轨道和第二轨道，并在第一轨道上加装限位条，并在其上安装H型滑轨，使得H型滑轨可以在轨道上滑动，进而便于安装晶舟于轨道上。通过限位条限制晶舟前端面，同时通过定位块对晶舟的后端面进行定位，完成对晶舟的定位安放，达到一次性快速定位的效果。而且为了确认晶舟安放平稳，通过第一定位装置和第二定位装置可以对确认晶舟是否安装平稳。最后通过推手将第一轨道上的晶舟内的晶圆推送至第二轨道上的晶舟内，完成对晶圆的转换存储，提高了晶圆转换器的工作效率。

主权项

1.一种简易操作的晶圆转换器，其特征在于：包括载台、第一轨道、第二轨道、第一定位装置、第二定位装置和推手；/n所述第一轨道的两滑轨之间的载台上设置有限位条，所述载台上设置有定位块，所述定位块位于第一轨道的一端上，所述第一定位装置设置在限位条与定位块之间的载台上，且所述第一定位装置位于两滑轨之间，所述推手设置在载台的一端上，且所述推手朝向第一轨道设置；/n所述第二轨道与第一轨道首尾对齐设置在载台上，所述第二轨道的两滑轨之间设置有第二定位装置，所述第一轨道与第二轨道上分别设置有一个H型滑轨，所述H型滑轨的两个滑轨之间的宽度小于第一轨道的两滑轨之间的宽度，且所述H型滑轨的两个滑轨之间的宽度小于第二轨道的两滑轨之间的宽度。/n