[实用新型]卫星式真空薄膜沉积系统有效
| 申请号： | 201920269366.7 | 申请日： | 2019-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN209854243U | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 张宏;张冬;马志博 | 申请（专利权）人： | 苏州华杨赛斯真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35;C23C14/24 |
| 代理公司： | 32102 南京苏科专利代理有限责任公司 | 代理人： | 姚姣阳 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种卫星式真空薄膜沉积系统，由多个操作腔室管路连接组成，所述操作腔室包括一个中转室、两个共蒸发沉积室、三个磁控溅射室以及一个储样室，每个所述操作腔室均配备有用于维持腔体真空度的真空泵组，所述中转室位于整个系统的中心位置、其他所述操作腔室等距环绕设置于所述中转室的外周位置，其他所述操作腔室均分别与所述中转室管路连接、并采用闸板阀进行分隔，系统内还设置有样品传递机构，加工样品在所述样品传递机构的作用下、在各操作腔室间传递。本实用新型实现了在一套系统中实现在衬底上制得多种不同外延薄膜的技术效果，降低了样品在不同设备间转移制备的实验成本及时间成本，显著地提升了制备效率。 | ||
| 搜索关键词： | 操作腔室 中转室 样品传递机构 本实用新型 管路连接 制备 真空薄膜沉积 腔体真空度 磁控溅射 环绕设置 技术效果 时间成本 实验成本 外延薄膜 外周位置 真空泵组 沉积室 储样室 共蒸发 设备间 卫星式 闸板阀 衬底 等距 分隔 配备 传递 加工 | ||
【主权项】：
1.一种卫星式真空薄膜沉积系统，由多个操作腔室管路连接组成，其特征在于：所述操作腔室包括一个中转室（2）、两个共蒸发沉积室、三个磁控溅射室以及一个储样室（1），每个所述操作腔室均配备有用于维持腔体真空度的真空泵组；所述中转室（2）位于整个系统的中心位置、其他所述操作腔室等距环绕设置于所述中转室（2）的外周位置，其他所述操作腔室均分别与所述中转室（2）管路连接、并采用闸板阀进行分隔；系统内还设置有样品传递机构，加工样品在所述样品传递机构的作用下、在各操作腔室间传递。/n
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