[实用新型]一种防止蚀刻子液氯化铵结晶装置有效
| 申请号： | 201920270610.1 | 申请日： | 2019-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN209741274U | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 陈文柏;潘少渺 | 申请（专利权）人： | 涟水县苏杭科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/34 | 分类号： | C23F1/34 |
| 代理公司： | 32223 淮安市科文知识产权事务所 | 代理人： | 朱介人<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 223400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种防止蚀刻子液氯化铵结晶装置，包括设于台阶上的子液添加桶，所述子液添加桶桶壁为双层中空结构，内壁与外壁之间形成环形交换腔，所述台阶旁侧设有储水容器，储水容器的旁侧设有加热器，储水容器通过盖子上的水泵与交换腔连通，交换腔底部连通于储水容器；所述交换腔内部设有由上至下的螺旋型阶槽，每层阶槽上方均设有一旋转叶轮。由本实用新型结构可知，通过水暖方式给蚀刻子液添加桶加温，使得蚀刻子液添加桶的温度始终保持在8℃以上，避免氯化铵结晶析出，保持药液氯离子浓度稳定，蚀刻液药水稳定，进而稳定蚀刻速率，不易产生蚀刻不净，板子质量提高，生产成本降低，给企业带来良好经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 储水容器 交换腔 蚀刻子液 蚀刻 本实用新型 氯化铵结晶 阶槽 子液 双层中空结构 加热器 析出 底部连通 浓度稳定 旋转叶轮 氯离子 螺旋型 蚀刻液 盖子 药水 板子 加温 内壁 水暖 桶壁 外壁 连通 水泵 生产成本 | ||
【主权项】：
1.一种防止蚀刻子液氯化铵结晶装置，包括设于台阶（1）上的子液添加桶（2），其特征在于：所述子液添加桶（2）桶壁为双层中空结构，内壁与外壁之间形成环形交换腔（21），所述台阶（1）旁侧设有储水容器（3），储水容器（3）的旁侧设有加热器（4），储水容器（3）通过盖子上的水泵（6）与交换腔（21）连通，交换腔（21）底部连通于储水容器（3）；/n所述交换腔（21）内部设有由上至下的螺旋型阶槽（7），每层阶槽（7）底部上方均设有一旋转叶轮（8）；/n位于子液添加桶（2）旁侧的台阶（1）上设有温度控制器（9），所述子液添加桶（2）内桶底设有温度传感器A（22），所述储水容器（3）侧壁上设有温度传感器B（31），温度传感器A（22）、温度传感器B（31）、加热器（4）及水泵（6）均与温度控制器（9）电信号连接。/n
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