[实用新型]一种光栅的二维线密度测量系统有效
| 申请号： | 201920273923.2 | 申请日： | 2019-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN209485664U | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 杜亮亮;程显超;叶雁;孟立民;安然;赵宇;李生福 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院流体物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 钱成岑 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光栅的二维线密度测量系统，所述系统中，缩束准直器、一维π位相片、偏振分束镜、1/4波片、两块平面反射镜和电动二维平移台依次设置在激光发射器发射的激光的光路上；双平面反射镜设置在电动旋转台上；待测光栅放置在电动二维平移台上，激光经缩束准直器、一维π位相片、偏振分束镜、1/4波片和两块平面反射镜后照射到待测光栅表面；电动旋转台用于旋转带动双平面反射镜使光沿原光路返回，在返回的光路上依次设置所述两块平面反射镜、1/4波片、偏振分束镜、聚焦镜和CCD探测器。本实用新型能够实现不同面型、不同线密度的光栅的二维线密度的高精度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 光栅 偏振分束镜 平面反射镜 波片 二维 双平面反射镜 本实用新型 缩束准直器 线密度测量 依次设置 位相片 激光 电动旋转台 二维平移台 高精度测量 激光发射器 电动旋转 二维平移 光栅表面 旋转带动 聚焦镜 返回 面型 原光 照射 发射 | ||
【主权项】：
1.一种光栅的二维线密度测量系统，其特征在于，包括激光发射器、缩束准直器、一维π位相片、偏振分束镜、1/4波片、两块平面反射镜、双平面反射镜、电动旋转台、电动二维平移台、聚焦镜和CCD探测器；缩束准直器、一维π位相片、偏振分束镜、1/4波片、两块平面反射镜和电动二维平移台依次设置在激光发射器发射的激光的光路上；双平面反射镜设置在电动旋转台上；待测光栅放置在电动二维平移台上，激光发射器发射的激光经缩束准直器、一维π位相片、偏振分束镜、1/4波片和两块平面反射镜后，照射到待测光栅表面，产生不同次级的衍射光；电动旋转台用于旋转带动双平面反射镜，使待测光栅的入射光或不同次级的衍射光沿原来的光路返回，在返回的光路上依次设置所述两块平面反射镜、1/4波片、偏振分束镜、聚焦镜和CCD探测器。
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