[实用新型]一种用于高纯铝平面靶材磨削加工的电磁夹具有效
申请号: | 201920274980.2 | 申请日: | 2019-03-05 |
公开(公告)号: | CN209615185U | 公开(公告)日: | 2019-11-12 |
发明(设计)人: | 叶峰 | 申请(专利权)人: | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
主分类号: | B24B41/06 | 分类号: | B24B41/06 |
代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 林晓宏 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种磨床对高纯铝平面靶材进行磨削时所采用的电磁夹具,该电磁夹具通过设置在电磁吸盘对应两侧的带有匹配限位夹角的第一限位板和第二限位板对高纯铝平面靶材的对角进行抵靠配合,并利用电磁吸盘与两个对应的限位板之间的磁吸配合,对限位板进行磁吸定位,从而对高纯铝平面靶材进行锁紧定位,与现有技术相比,该电磁夹具克服了电磁吸盘无法对高纯铝平面靶材等弱导磁体进行磁吸定位的问题,该电磁夹具结构简单,使用方便,不会对高纯铝平面靶材造成损坏,且定位精准。 | ||
搜索关键词: | 平面靶材 高纯铝 电磁夹具 电磁吸盘 磁吸定位 限位板 磨床 本实用新型 第二限位板 第一限位板 磁吸配合 定位精准 磨削加工 弱导磁体 锁紧定位 限位夹角 对角 磨削 匹配 配合 | ||
【主权项】:
1.一种用于高纯铝平面靶材磨削加工的电磁夹具,包括工作台(4)和安装于工作台(4)的电磁吸盘(1),其特征在于:电磁吸盘(1)的顶面活动设置有限位板,限位板包括第一限位板(11)和第二限位板(12),第一限位板(11)和第二限位板(12)分别位于电磁吸盘(1)相对的两侧,第一限位板(11)的侧部均凹缺形成有L形的第一限位部,第二限位板(12)的侧部均凹缺形成有L形的第二限位部,第一限位部和第二限位部相互对应,第一限位部和第二限位部的抵靠面均设置有垫片(25),第一限位部和第二限位部分别紧贴抵靠于置放在电磁吸盘(1)上呈长方形的高纯铝平面靶材(3)的两个对角,电磁夹具具有锁紧状态和解锁状态,在电磁夹具处于锁紧状态时,电磁吸盘(1)与限位板之间作磁吸配合;在电磁夹具处于解锁状态时,电磁吸盘(1)与限位板之间作退磁配合。
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