[实用新型]一种机台灯丝接线柱有效
| 申请号： | 201920276420.0 | 申请日： | 2019-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN209312711U | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | 刘鹏成 | 申请（专利权）人： | 无锡际盟信息科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/02 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 许羽冬 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种机台灯丝接线柱，包括安装固定底块、大气部分延伸柱和真空部分延伸柱，安装固定底块的一侧与大气部分延伸柱的一端固定连接，安装固定底块的另一侧与真空部分延伸柱的一端固定连接，大气部分延伸柱远离安装固定底块的一端固定连接有固定螺纹端子，固定螺纹端子的外表面套设有窥口铜鼻子端子，本实用新型涉及半导体晶圆生产设施技术领域。该机台灯丝接线柱，可实现在便利使用性达到的同时保证了更充分紧固的接触，减少了由于接触面过热导致导线及相关部件烧毁等增加的额外成本，同时减少了机台故障时间，增加了机台的产能，提高了机台的经济效益，从根本上解决由于接触问题导致的各种故障和安全隐患。 | ||
| 搜索关键词： | 机台 延伸柱 安装固定 底块 灯丝接线柱 本实用新型 固定螺纹 半导体晶圆 安全隐患 额外成本 机台故障 生产设施 外表面套 使用性 铜鼻子 产能 过热 紧固 烧毁 便利 保证 | ||
【主权项】：
1.一种机台灯丝接线柱，包括安装固定底块(8)、大气部分延伸柱(5)和真空部分延伸柱(9)，所述安装固定底块(8)的一侧与大气部分延伸柱(5)的一端固定连接，且安装固定底块(8)的另一侧与真空部分延伸柱(9)的一端固定连接，其特征在于：所述大气部分延伸柱(5)远离安装固定底块(8)的一端固定连接有固定螺纹端子(4)，且固定螺纹端子(4)的外表面套设有窥口铜鼻子端子(2)，所述固定螺纹端子(4)的外表面且位于窥口铜鼻子端子(2)的一侧螺纹连接有锁紧螺母(1)，且窥口铜鼻子端子(2)的内部固定安装有电源线(3)。
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