[实用新型]柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置有效
| 申请号： | 201920276808.0 | 申请日： | 2019-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN210206483U | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 王鲁南;窦立峰 | 申请（专利权）人： | 南京汇金锦元光电材料有限公司 |
| 主分类号： | B01F3/02 | 分类号： | B01F3/02;B01F5/02;B01F5/06;B01F13/10;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 王清义 |
| 地址： | 210046 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型是柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置，包括若干级气体混合子单元顺次连接组成的气体混合单元，气体混合子单元包括导流混合舱和混合舱，混合舱为空心管状且侧壁两端边缘分别设置有环形进气带和环形出气带，混合舱的环形进气带与导流混合舱出气端连通，混合舱的环形出气带与下一级气体混合子单元内的导流混合舱的进气端连通，气体混合单元前置第一混合舱，第一混合舱的环形出气带与第一级气体混合子单元内导流混合舱的进气端连通，第一混合舱的进气端与反应气体混合室连通，第一混合舱的环形进气带与工作气体储气舱连通。该装置体积小、结构简单、经济，多种气体混合密度分布均匀，对柔性宽幅连续磁控溅射镀膜横向均匀性控制作用明显。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 宽幅 连续 磁控溅射 镀膜 气体 混合 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京汇金锦元光电材料有限公司，未经南京汇金锦元光电材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920276808.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种具有除臭功能的排水检查井井盖
- 下一篇：一种带有双水泵循环系统的冷水机
