[实用新型]一种用于化学气相沉积的高温加热沉积台有效
申请号: | 201920281612.0 | 申请日: | 2019-03-06 |
公开(公告)号: | CN209685911U | 公开(公告)日: | 2019-11-26 |
发明(设计)人: | 陈宇;严丽红 | 申请(专利权)人: | 张家港迪源电子科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/46 | 分类号: | C23C16/46 |
代理公司: | 32304 苏州市港澄专利代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 马丽丽<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 215600 江苏省苏州市张家港市杨*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于化学气相沉积的高温加热沉积台,解决了现有的化学气相沉积的高温加热沉积台提供反应温度达不到反应发生条件的需求,适用性比较窄的问题,以及化学反应的温度与反应时间需要人工记录,不便于观察和记录的问题,其包括桶体,所述桶体底端安装有底座,底座底端一侧开设有出气孔,桶体顶端一侧铰接有桶盖,桶体外部一侧安装有开关,开关一侧安装有显示屏,本实用新型设计合理,便于使用,能提供一个高温并且稳定安全的环境,能满足一些气体在化学反应的所需要的高温环境,增加沉积台的适用性,桶体外侧安装有显示屏和按键,便于控制和观察反应时间和反应温度,不需要人工记录。 | ||
搜索关键词: | 桶体 沉积台 化学气相沉积 化学反应 本实用新型 高温加热 人工记录 显示屏 底座底端 发生条件 高温环境 桶体外部 稳定安全 出气孔 按键 底端 观察 铰接 桶盖 底座 记录 | ||
【主权项】:
1.一种用于化学气相沉积的高温加热沉积台,包括桶体(1),其特征在于:所述桶体(1)底端安装有底座(2),底座(2)底端一侧开设有出气孔(3),桶体(1)顶端一侧铰接有桶盖(4),桶体(1)外部一侧安装有开关(5),开关(5)一侧安装有显示屏(6),显示屏(6)一侧安装有按键(7),桶体(1)内部安装有沉积组件(8),桶体(1)、开关(5)、显示屏(6)、按键(7)和沉积组件(8)均与市电电性连接,桶体(1)、显示屏(6)、按键(7)和沉积组件(8)均与开关(5)电性连接。/n
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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