[实用新型]一种用于化学气相沉积的高温加热沉积台有效

专利信息
申请号: 201920281612.0 申请日: 2019-03-06
公开(公告)号: CN209685911U 公开(公告)日: 2019-11-26
发明(设计)人: 陈宇;严丽红 申请(专利权)人: 张家港迪源电子科技有限公司
主分类号: C23C16/46 分类号: C23C16/46
代理公司: 32304 苏州市港澄专利代理事务所(普通合伙) 代理人: 马丽丽<国际申请>=<国际公布>=<进入
地址: 215600 江苏省苏州市张家港市杨*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型公开了一种用于化学气相沉积的高温加热沉积台,解决了现有的化学气相沉积的高温加热沉积台提供反应温度达不到反应发生条件的需求,适用性比较窄的问题,以及化学反应的温度与反应时间需要人工记录,不便于观察和记录的问题,其包括桶体,所述桶体底端安装有底座,底座底端一侧开设有出气孔,桶体顶端一侧铰接有桶盖,桶体外部一侧安装有开关,开关一侧安装有显示屏,本实用新型设计合理,便于使用,能提供一个高温并且稳定安全的环境,能满足一些气体在化学反应的所需要的高温环境,增加沉积台的适用性,桶体外侧安装有显示屏和按键,便于控制和观察反应时间和反应温度,不需要人工记录。
搜索关键词: 桶体 沉积台 化学气相沉积 化学反应 本实用新型 高温加热 人工记录 显示屏 底座底端 发生条件 高温环境 桶体外部 稳定安全 出气孔 按键 底端 观察 铰接 桶盖 底座 记录
【主权项】:
1.一种用于化学气相沉积的高温加热沉积台,包括桶体(1),其特征在于:所述桶体(1)底端安装有底座(2),底座(2)底端一侧开设有出气孔(3),桶体(1)顶端一侧铰接有桶盖(4),桶体(1)外部一侧安装有开关(5),开关(5)一侧安装有显示屏(6),显示屏(6)一侧安装有按键(7),桶体(1)内部安装有沉积组件(8),桶体(1)、开关(5)、显示屏(6)、按键(7)和沉积组件(8)均与市电电性连接,桶体(1)、显示屏(6)、按键(7)和沉积组件(8)均与开关(5)电性连接。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于张家港迪源电子科技有限公司,未经张家港迪源电子科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201920281612.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top