[实用新型]一种发热均匀的高温化学气相沉积设备有效
| 申请号： | 201920281613.5 | 申请日： | 2019-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN209702858U | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 陈宇;严丽红 | 申请（专利权）人： | 张家港迪源电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 32304 苏州市港澄专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 马丽丽<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市张家港市杨*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种发热均匀的高温化学气相沉积设备，解决了现有高温化学气相沉积设备采用垂直放置的发热丝易造成发热桶内部发热不均匀，从而使内部反应条件不足难以达到更好的效果的问题，其包括桶体，所述桶体内部安装有保温层，保温层内侧位于桶体内部位置处安装有发热桶，保温层内部贯穿发热桶内部安装有发热组件，本实用新型，结构紧凑，便于优化现有高温化学气相沉积设备，使设备使用缠绕的发热线圈可以对发热桶内部更加均匀的散发热量，使用风机配合使热量在发热桶内部混合更加均匀，便于反应的高效进行，同时设置转动组件使热量更加快速且充分的散发至反应桶内，并有效隔离热量向外部流失。 | ||
| 搜索关键词： | 发热 气相沉积设备 高温化学 保温层 本实用新型 体内部 垂直放置 发热均匀 发热线圈 发热组件 反应条件 内部安装 散发热量 设备使用 有效隔离 转动组件 不均匀 发热丝 反应桶 位置处 风机 桶体 缠绕 散发 贯穿 外部 优化 配合 | ||
【主权项】：
1.一种发热均匀的高温化学气相沉积设备，包括桶体(1)，其特征在于，所述桶体(1)内部安装有保温层(2)，保温层(2)内侧位于桶体(1)内部位置处安装有发热桶(3)，保温层(2)内部贯穿发热桶(3)内部安装有发热组件(4)，桶体(1)顶端位于发热桶(3)顶端位置处安装有保温盖(5)，发热桶(3)内部贯穿保温盖(5)安装有反应台(6)，发热桶(3)底端贯穿内部安装有排气口(7)，发热桶(3)下部外侧固定有转动组件(8)，转动组件(8)底端安装有电机(9)。/n
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
