[实用新型]用于石墨舟插片机硅片传输线的伸缩结构有效
| 申请号： | 201920282817.0 | 申请日： | 2019-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN209401603U | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 邓金生;汪林;周宏业;余仲 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 尹彦;胡朝阳 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区横*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于石墨舟插片机硅片传输线的伸缩结构，包括机架（8），设置在机架底板上的直线滑轨（15）和安装在其上面的伸缩板（1），还包括传动轮组，与传动轮组驱动连接的电机（7）和皮带（10），所述电机（7）通过传动轮组使皮带（10）在机架（8）的上面作传输运动，所述伸缩板（1）以直线滑轨（15）导向，通过伸缩气缸（9）的伸缩带动伸缩板（1）伸出或缩进所述机架（8）的一端，当所述伸缩板（1）伸出或缩进所述机架（8）时，所述皮带（10）通过所述传动轮组使得其始终处于张紧状态。本实用新型的伸缩结构，硅片上不易产生皮带印，产品的合格率较高，安装和调试方便。 | ||
| 搜索关键词： | 传动轮组 伸缩板 皮带 伸缩结构 硅片 传输线 本实用新型 直线滑轨 插片机 石墨舟 缩进 电机 伸出 传输运动 机架底板 驱动连接 伸缩气缸 张紧状态 伸缩 调试 合格率 | ||
【主权项】：
1.一种用于石墨舟插片机硅片传输线的伸缩结构，包括机架（8），设置在机架底板上的直线滑轨（15）和安装在其上面的伸缩板（1），还包括传动轮组，与传动轮组驱动连接的电机（7）和皮带（10），其特征在于：所述电机（7）通过传动轮组使皮带（10）在机架（8）的上面作传输运动，所述伸缩板（1）以直线滑轨（15）导向，通过伸缩气缸（9）的伸缩带动伸缩板（1）伸出或缩进所述机架（8）的一端，当所述伸缩板（1）伸出或缩进所述机架（8）时，所述皮带（10）通过所述传动轮组使得其始终处于张紧状态。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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