[实用新型]用于产品承载器的夹持装置、该产品承载器和具有该产品承载器的系统

摘要

本实用新型提供了夹持装置、具有夹持装置的产品承载器和具有产品承载器和布置在其中的产品的系统。用于产品承载器(2)的夹持装置(8)包括腔(9)。腔(9)的壁(10)至少部分地由可变形材料形成。夹持装置(8)安装在一个保持器(7)上。壁具有一个部分，通过将流体(11)进入腔，可使在该部分中的由可变形材料形成的所述壁与设置在产品承载器中的产品接触。产品承载器包括与所述夹持装置相对地设置的至少一个杆(5)，尤其是具有多个齿状突起部(6)的杆(5)。借助夹持装置，设置在产品承载器中的产品可以被夹持在杆和夹持装置(8)之间。特别地，产品是基片，特别是晶圆。