[实用新型]用于硅片分离的风刀装置及硅片上料装置有效
| 申请号： | 201920290732.7 | 申请日： | 2019-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN209820106U | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 陈龙;高夺利;李成伟 | 申请（专利权）人： | 洛阳阿特斯光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B21/00 | 分类号： | F26B21/00;H01L31/18 |
| 代理公司： | 32235 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 杨金 |
| 地址： | 471023 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于硅片分离的风刀装置及硅片上料装置。该用于硅片分离的风刀装置包括形成有空腔的外壳和设置于空腔内的叶轮机构，在第一方向上，所述叶轮机构将所述空腔进行分隔形成位于叶轮机构两侧的进气腔和排气腔，所述外壳设有分别连通进气腔和排气腔的进气口和出气口。通过这种呈现震荡状态的气流，使结合较为紧密的硅片分离开，同时出风呈现震荡状态，所需气压有所降低，可以减少碎片概率以及崩边概率。 | ||
| 搜索关键词： | 叶轮机构 硅片 风刀装置 进气腔 排气腔 空腔 震荡 进气口 硅片上料装置 本实用新型 出气口 概率 崩边 出风 分隔 气压 连通 | ||
【主权项】：
1.一种用于硅片分离的风刀装置，其特征在于：包括形成有空腔的外壳和设置于空腔内的叶轮机构，在第一方向上，所述叶轮机构将所述空腔进行分隔形成位于叶轮机构两侧的进气腔和排气腔，所述外壳设有分别连通进气腔和排气腔的进气口和出气口。/n
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