[实用新型]一种靶材喷砂辅助装置有效
| 申请号： | 201920291077.7 | 申请日： | 2019-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN209665134U | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 卢建栋;张扬 | 申请（专利权）人： | 东曹(上海)电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24C3/00 | 分类号： | B24C3/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201600 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种靶材喷砂辅助装置，涉及溅射靶材生产领域，包括基板，基板上表面开设有用于放置溅射靶材的安置槽，安置槽上方设置有用于遮挡靶材表面的挡板，基板内设置用于吸附挡板的吸附块，基板上还设置用于夹紧固定溅射靶材的夹紧组件。针对现有技术存在操作繁琐、加工效率不足的问题，本实用新型通过吸附块吸附挡板，使挡板压紧在靶材表面，便于进行喷砂处理，提高喷砂作业的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 挡板 吸附 溅射靶材 基板 本实用新型 靶材表面 安置槽 喷砂 基板上表面 辅助装置 夹紧固定 夹紧组件 加工效率 喷砂处理 靶材 压紧 遮挡 | ||
【主权项】：
1.一种靶材喷砂辅助装置，包括基板（1），其特征在于，所述基板（1）上表面开设有用于放置溅射靶材的安置槽（2），所述安置槽（2）上方设置有用于遮挡靶材表面的挡板（3），所述基板（1）内设置用于吸附所述挡板（3）的吸附块（4），所述基板（1）上还设置用于夹紧固定溅射靶材的夹紧组件。/n
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