[实用新型]一种分子泵清扫装置及系统有效
| 申请号： | 201920292009.2 | 申请日： | 2019-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN209838790U | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 江森林;沈超 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | F04D29/70 | 分类号： | F04D29/70;F04D19/04 |
| 代理公司： | 31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 郑星 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种分子泵清扫装置及系统，所述分子泵清扫装置包括一盖板，所述盖板包括多个进气口和出气口。分子泵清扫装置系统，包括分子泵清扫装置和分子泵，所述分子泵清扫装置固定在分子泵上，所述分子泵包括一干泵和一腔体，所述腔体内壁四周有叶片。洁净干燥压缩空气通过分子泵清扫装置的多个进气口均匀进入分子泵，多个进气口的气体制造扰流，气体进入分子泵后使得叶片转动，加强了气体扰流，把泵体内的聚合物吹扫干净并扬起，用真空吸管从出气口把泵体内的聚合物抽走。通过所述分子泵清扫装置对分子泵进行清扫，分子泵泵体清洁度明显改善，提高了产品工艺的良率，也可延长分子泵的寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 分子泵 清扫装置 进气口 出气口 聚合物 盖板 扰流 干燥压缩空气 清洁度 体内 本实用新型 产品工艺 腔体内壁 叶片转动 真空吸管 泵体 吹扫 良率 腔体 清扫 叶片 洁净 制造 | ||
【主权项】：
1.一种分子泵清扫装置，其特征在于，所述分子泵清扫装置包括：/n一盖板，所述盖板包括多个进气口和出气口，所述进气口内通入气体为洁净干燥压缩空气，所述出气口沿盖板向上延伸出一圆管。/n
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