[实用新型]用于在真空中沉积薄膜涂层的直列式涂布机

摘要

本实用新型提供一种用于在真空中沉积薄膜涂层的直列式涂布机。其创新在于：直列式涂布机的输送系统用于将基板保持架在垂直于其轴的方向上同步和逐步地从室移动到室中，此外，在每个处理室中，输送系统沿其旋转轴将基板保持架移动到工作区域；处理室具有朝向大气的附加容积，其尺寸由基板保持架的尺寸确定，并足以将技术装置和监测仪器放置在其中，并且基板保持架的旋转运动馈通装置具有与基板保持架的中心轴耦合的装置。在其第一变体中，基板保持架悬挂在其上的输送系统的支撑框架可以配置为在水平和垂直位置中从室移动到室，而在其第二变体中，支撑框架配置为仅在垂直位置中移动，并且直列式涂布机另外包括基板保持架返回室。