[实用新型]一种芯片加工用除尘装置有效
| 申请号： | 201920298671.9 | 申请日： | 2019-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN209810814U | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 金秋林 | 申请（专利权）人： | 山东中芯光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/04 | 分类号： | B08B5/04 |
| 代理公司： | 11642 北京恒泰铭睿知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周成金 |
| 地址： | 250101 山东省济南市高新区港*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种芯片加工用除尘装置，其结构包括安装架、控制箱、电线、微型自吸泵、压力表、开关、电源线、箱体、嵌套钮、蜂窝板、透明板、连接孔、除尘枪、中空管和流量调节装置，通过在气槽底端设置了流量调节装置，选择合适腔体过风流量，将限位柱插入调节卡洞中，开启微型自吸泵，将尘体从除尘枪引入，穿过各个槽体，在经过第一腔体、第二腔体、第三腔体，风力推动挡风板，卷弹簧受力变形，挡风板最低位置为调节卡洞处，此时气流进入排气筒中，灰尘慢慢积聚在蜂窝板底端，达到了能够先调节最小风量试用其除尘效果，再增强风量除尘，使精密芯片不轻易被损坏，实用性强的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 流量调节装置 微型自吸泵 除尘枪 挡风板 蜂窝板 底端 卡洞 腔体 压力表 嵌套 本实用新型 除尘效果 除尘装置 弹簧受力 第二腔体 第一腔体 风力推动 芯片加工 最小风量 安装架 电源线 风流量 控制箱 连接孔 排气筒 透明板 限位柱 中空管 除尘 槽体 风量 气槽 积聚 精密 变形 电线 芯片 穿过 引入 | ||
【主权项】：
1.一种芯片加工用除尘装置，包括安装架(1)、控制箱(2)、电线(3)、微型自吸泵(4)、压力表(5)、开关(6)、电源线(8)、箱体(9)、嵌套钮(10)、蜂窝板(11)、透明板(12)、连接孔(13)、除尘枪(14)和中空管(15)，其特征在于：还包括流量调节装置(7)，所述安装架(1)底端嵌入安装于箱体(9)上，所述控制箱(2)正面与箱体(9)背面通过粘剂相粘接，所述电线(3)与控制箱(2)电连接，所述微型自吸泵(4)底端嵌入安装于箱体(9)上，所述压力表(5)外表面与箱体(9)内表面相嵌套，所述压力表(5)位于开关(6)背侧，所述流量调节装置(7)外表面安装于箱体(9)内，所述电源线(8)与控制箱(2)电连接，所述箱体(9)正面孔洞与嵌套钮(10)外表面螺纹连接，所述箱体(9)底端安装有蜂窝板(11)，所述透明板(12)外表面嵌入安装于箱体(9)上，所述连接孔(13)贯穿于流量调节装置(7)上，所述除尘枪(14)右侧与中空管(15)左侧相连接，所述流量调节装置(7)包括螺丝孔板(701)、连接筒(702)、壳体(703)、传气管(704)、排气筒(705)和调控筒(706)，所述螺丝孔板(701)右侧与壳体(703)左侧相焊接，所述连接筒(702)外表面嵌入安装于壳体(703)上，所述传气管(704)顶端与调控筒(706)底端相连接，所述传气管(704)左侧与排气筒(705)右侧相连接，所述排气筒(705)左侧嵌入安装于壳体(703)上并紧密贴合，所述壳体(703)安装于箱体(9)内侧右端。/n
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