[实用新型]折反透镜组检验超大口径凸抛物面反射镜的光学系统有效
| 申请号： | 201920299353.4 | 申请日： | 2019-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN209689883U | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 胡文琦;戚丽丽;郑列华;张珑 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00 |
| 代理公司： | 31311 上海沪慧律师事务所 | 代理人： | 郭英<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本专利公开了一种折反透镜组检验超大口径凸抛物面反射镜的光学系统。检验光学系统主要由干涉仪、折反透镜组、亨德尔球面反射镜及待检凸抛物面反射镜组成。折反透镜组由一个单透镜和一个折反透镜组成。首先利用折反透镜校正球面反射镜产生的球差，再利用单透镜形成自准检验光路同时提高球差校正效果。该光学系统可以实现超大口径凸抛物面反射镜的高精度检验。本专利可以在保证系统检验高精度的同时，减小所需球面反射镜以及折反透镜组的口径，缩短检测光路的长度，降低了加工以及检测过程中装调的难度，节约了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 反透镜 球面反射镜 光学系统 凸抛物面 反射镜 超大口径 单透镜 检验 保证系统 精度检验 球差校正 干涉仪 检测光 再利用 光路 减小 球差 校正 口径 检测 节约 加工 | ||
【主权项】：
1.折反透镜组检验超大口径凸抛物面反射镜的光学系统，由干涉仪(1)，折反透镜组(2)，亨德尔球面反射镜(3)及待检凸抛物面反射镜组成，其特征在于：/n所述的亨德尔球面反射镜(3)处于干涉仪(1)与折反透镜组(2)之间，其球心位于待检凸抛物面反射镜的后焦点上，形成自准光学系统；折反透镜组(2)位于待检凸抛物面反射镜和球面反射镜(3)之间，校正了球面反射镜所产生的像差；/n所述的干涉仪(1)发出的平行光束从亨德尔球面反射镜(3)的中心孔入射，经过折反透镜组(2)的折反射，入射到亨德尔球面反射镜(3)上，从球面反射镜(3)反射的光线，再经过待检凸抛物面反射镜的反射，沿法线方向再次入射到亨德尔球面反射镜(3)上，并自准反射，按原路返回干涉仪。/n
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