[实用新型]蒸发台坩埚装置及蒸发台系统有效
| 申请号： | 201920305346.0 | 申请日： | 2019-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN209602629U | 公开（公告）日： | 2019-11-08 |
| 发明（设计）人： | 邵旭;王志达;袁守良 | 申请（专利权）人： | 吉林华微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 肖苏宸 |
| 地址： | 132013 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体器件芯片制造技术领域，公开了一种蒸发台坩埚装置及蒸发台系统，具体的，蒸发台坩埚装置包括基板、两坩埚磁极臂、挡板驱动器、挡板驱动器固定架、两电子枪保护组件以及坩埚；两电子枪保护组件分别设置在坩埚的第一端的两侧，挡板驱动器固定架设置在坩埚的第二端，挡板驱动器设置在挡板驱动器固定架远离所述坩埚的一端；基板上设置有电子枪固定组件，电子枪固定组件用于固定电子枪，坩埚的置物孔的口径为40mm‑80mm。本实用新型能够在蒸发过程中提升速率，减少崩源，延长坩埚使用寿命，提升产品质量，提高产能。 | ||
| 搜索关键词： | 驱动器 坩埚 挡板 蒸发台 电子枪 坩埚装置 固定架 本实用新型 保护组件 固定组件 基板 半导体器件芯片 坩埚使用寿命 固定电子枪 蒸发过程 磁极臂 置物孔 产能 口径 制造 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发台坩埚装置，其特征在于，所述坩埚装置包括基板、两个坩埚磁极臂、挡板驱动器、挡板驱动器固定架、两个电子枪保护组件以及坩埚；两个所述坩埚磁极臂分别连接设置在所述基板的两侧，在所述基板的上方，两个所述坩埚磁极臂之间形成容置所述坩埚的空隙，所述坩埚支撑设置在所述两个坩埚磁极臂上；两个所述电子枪保护组件分别设置在所述坩埚的第一端的两侧，所述挡板驱动器固定架设置在所述坩埚的第二端，所述挡板驱动器设置在所述挡板驱动器固定架远离所述坩埚的一端；所述基板上设置有电子枪固定组件，所述电子枪固定组件用于固定电子枪，所述坩埚的置物孔的口径为40mm‑80mm。
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