[实用新型]化学机械研磨设备有效
| 申请号： | 201920307991.6 | 申请日： | 2019-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN209632750U | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 胡继祥 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/20 | 分类号： | B24B37/20;B24B37/11;B24B37/34;B24B55/06 |
| 代理公司： | 31294 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 孙佳胤;董琳<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 230001安徽省合肥市蜀山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种化学机械研磨设备，所述化学机械研磨设备包括：研磨盘，用于固定研磨垫；研磨头，位于所述研磨盘上方，用于固定晶圆；传感器，固定于所述研磨头外壁上，且所述传感器的检测窗口朝向所述研磨盘；喷气单元，固定设置于所述研磨盘一侧，用于向所述传感器喷气。所述化学机械研磨设备的滑片侦测效果提高。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨盘 化学机械研磨设备 传感器 研磨头 固定设置 喷气单元 研磨垫 滑片 晶圆 外壁 侦测 检测 | ||
【主权项】：
1.一种化学机械研磨设备，其特征在于，包括：/n研磨盘，所述研磨盘表面用于固定研磨垫；/n研磨头，位于所述研磨盘上方，用于固定晶圆；/n传感器，固定于所述研磨头外壁，且所述传感器的检测窗口朝向所述研磨盘；/n喷气单元，设置于所述研磨盘一侧，用于向所述传感器喷气。/n
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