[实用新型]一种基于怀特腔的微量气体检测传感器

摘要

本实用新型公开了一种基于怀特腔的微量气体检测传感器，包括壳体、第一底座、第二底座、三个凹面反射镜；壳体内设有长条形中空腔体，长条形中空腔体的一端被第一底座密封，长条形中空腔体的另一端被第二底座密封；三个凹面反射镜为同焦距凹面反射镜；其中一个凹面反射镜固定在第一底座上，另外两个凹面反射镜固定在第二底座上，第一底座上设置有光源凹槽、探测器凹槽，光源凹槽、探测器凹槽分别对应位于第一底座上的凹面反射镜上方与下方。通过在气室内设置三个同焦距凹面反射镜，并将光源凹槽、探测器凹槽设置在气室同一侧，极大提高了气室的空间利用率，大幅度增加光程长度，使测量精度达到ppb量级，满足市场发展需求。

主权项

1.一种基于怀特腔的微量气体检测传感器，其特征在于，包括壳体、第一底座、第二底座、三个凹面反射镜；所述壳体内设有长条形中空腔体，所述长条形中空腔体的一端被第一底座密封，长条形中空腔体的另一端被第二底座密封，以形成用于作为检测气体的气室；所述三个凹面反射镜均位于气室内，分别为第一凹面反射镜、第二凹面反射镜、第三凹面反射镜；所述第一凹面反射镜、第二凹面反射镜、第三凹面反射镜为三个同焦距凹面反射镜；所述第一凹面反射镜的凹面反射面积大于第二凹面反射镜与第三凹面反射的凹面反射面积之和；所述第一凹面反射镜固定在第一底座上，所述第二凹面反射镜、第三凹面反射镜均固定在第二底座上，所述第一底座上设置有光源凹槽、探测器凹槽，所述光源凹槽、探测器凹槽分别对应位于第一凹面反射镜的上方与下方。/n