[实用新型]一种精准的残余气体质谱分析系统有效
| 申请号： | 201920323222.5 | 申请日： | 2019-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN209589927U | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 顾鹏 | 申请（专利权）人： | 四川宏胜杰机电设备有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62;G01N1/24 |
| 代理公司： | 成都为知盾专利代理事务所(特殊普通合伙) 51267 | 代理人： | 李汉强 |
| 地址： | 621000 四川省绵阳市绵*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种精准的残余气体质谱分析系统，包括前级泵、分子泵、质谱仪、操作平台，所述前级泵位于操作平台一侧，前级泵和质谱仪前级出口连接，所述分子泵安装在操作平台上，所述质谱仪和分子泵连接并且位于分子泵上方，质谱仪前端和分子泵之间还设有气体管道，质谱仪前端淤积的气体通过气体管道进入到分子泵，质谱仪前级出口与分子泵之间设有前级管道，分子泵内的气体通过前级管道进入到前级泵。本实用新型实现了设备的一体化，使得气体分析更加方便，并且设备体积小、系统成套，无需组装其它辅助设备即可使用，让气体分析效率高、时间短，质谱仪前端不易淤积气体，分子泵内的气体易于排出。 | ||
| 搜索关键词： | 分子泵 质谱仪 前级泵 操作平台 本实用新型 气体分析 气体管道 气体通过 前级管道 残余气 谱分析 前级 淤积 体质 出口连接 辅助设备 体积小 排出 组装 一体化 出口 | ||
【主权项】：
1.一种精准的残余气体质谱分析系统，其特征在于：包括前级泵、分子泵、质谱仪、操作平台，所述前级泵位于操作平台一侧，前级泵和质谱仪前级出口连接，所述分子泵安装在操作平台上，所述质谱仪和分子泵连接并且位于分子泵上方，质谱仪前端和分子泵之间还设有气体管道，质谱仪前端淤积的气体通过气体管道进入到分子泵，质谱仪前级出口与分子泵之间设有前级管道，分子泵内的气体通过前级管道进入到前级泵。
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