[实用新型]一种真空磁控溅射镀膜设备有效
| 申请号： | 201920326640.X | 申请日： | 2019-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN210012893U | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 杜彦;杨占雨;李空军;张学善 | 申请（专利权）人： | 天津南玻节能玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 12226 天津企兴智财知识产权代理有限公司 | 代理人： | 孟令琨 |
| 地址： | 301700 天津市武清*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型创造提供了一种真空磁控溅射镀膜设备，包括镀膜箱、以及镀膜箱上转动安装的门体、以及镀膜箱内设置的旋转机构；所述旋转机构包括镀膜箱内转动安装的转盘、以及转盘上设置的用于承载工件的承载架；所述门体边缘设有外裙板，镀膜箱上对应外裙板设有内裙板，所述内裙板上设有用于固定门体的夹紧机构。本实用新型创造结构简单，易于操作，且密封性能很好，通过设置多种固定结构，使门体可以始终稳定的与镀膜箱贴合，大大提高了这种设备运行的稳定性和可靠性；通过在镀膜箱上设置夹紧机构，大大提高了这种设备的密封性能，当需要密封门体时，操作人员只需滑动滑板，使滑板上的夹紧件固定住门体即可，操作起来十分简单。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜箱 门体 本实用新型 夹紧机构 密封性能 旋转机构 转动安装 内裙板 外裙板 镀膜 转盘 真空磁控溅射镀膜 承载工件 固定结构 固定门体 滑动滑板 门体边缘 密封门体 设备运行 承载架 夹紧件 滑板 贴合 | ||
【主权项】：
1.一种真空磁控溅射镀膜设备，其特征在于：包括镀膜箱、以及镀膜箱上转动安装的门体、以及镀膜箱内设置的旋转机构；所述旋转机构包括镀膜箱内转动安装的转盘、以及转盘上设置的用于承载工件的承载架；所述门体边缘设有外裙板，镀膜箱上对应外裙板设有内裙板，所述内裙板上设有用于固定门体的夹紧机构，夹紧机构包括内裙板上向箱体外侧滑动设置的滑板、以及滑板上朝向外裙板一侧设置的夹紧件，所述夹紧件朝向门体中部的一侧设有用于容纳外裙板的开槽，夹紧件上对应开槽的位置设有用于固定外裙板的固定组件。/n
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