[实用新型]一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极有效
| 申请号： | 201920331204.1 | 申请日： | 2019-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN209748842U | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 逯文冬;郑锦;耿晨宇;黄省三 | 申请（专利权）人： | 南京原磊纳米材料有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/03 | 分类号： | H05B3/03 |
| 代理公司： | 11548 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 李静<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 211800 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种电极，具体是一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极，包括加热管及设置在加热管下端的电极，所述加热管设置在真空腔体内部；所述电极通过安装法兰固定在真空腔体下端，电极上端贯穿在真空腔体内部，电极上端设有导电柱，导电柱和加热管为可拆卸式连接。本实用新型加热管与电极螺纹配合安装，方便拆卸，利于加热管更换维修；大气环境的电流通过电极传导给真空腔体内部真空环境中的加热管，进行工作。进而解决了传统的电极和加热管焊接为一体造成拆卸更换维修不便的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 加热管 体内部 真空腔 本实用新型 导电柱 上端 原子层沉积设备 可拆卸式连接 安装法兰 拆卸更换 大气环境 电极螺纹 电流通过 方便拆卸 更换维修 配合安装 真空环境 真空加热 真空腔体 传统的 盘管 下端 传导 焊接 维修 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极，包括加热管（1）及设置在加热管（1）下端的电极（5），其特征在于，所述加热管（1）设置在真空腔体（2）内部；所述电极（5）通过安装法兰（4）固定在真空腔体（2）下端，电极（5）上端贯穿在真空腔体（2）内部，电极（5）上端设有导电柱（6），导电柱（6）和加热管（1）为可拆卸式连接。/n
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