[实用新型]一种蒸镀沉积设备有效
| 申请号： | 201920332535.7 | 申请日： | 2019-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN209923420U | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 章丰帆 | 申请（专利权）人： | 上海视涯信息科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 31286 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 黄海霞 |
| 地址： | 201206 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种蒸镀沉积设备，包括：一个沉积腔体；设置于所述沉积腔体内的基板保持装置，用于固定保持基板；线型蒸镀源，所述线型蒸镀源包括一个容纳装置，用于容纳蒸镀材料，所述容纳装置包括一个容纳槽和多个盖板，所述多个盖板中的每个盖板可和所述容纳槽组装或拆分，所述容纳槽每次和所述多个盖板中的一个盖板进行组装；所述每个盖板上设置有多个喷嘴，所述多个盖板的喷嘴分布各不相同；所述多个盖板中的每个盖板和所述容纳槽组装后，所述盖板的多个喷嘴都和所述容纳槽的内部相通；旋转机构，所述旋转机构使所述基板和所述线型蒸镀源绕所述基板的中心轴相对转动。 | ||
| 搜索关键词： | 盖板 容纳槽 线型蒸镀源 喷嘴 基板 组装 容纳装置 旋转机构 基板保持装置 本实用新型 沉积腔体 沉积设备 内部相通 蒸镀材料 沉积腔 中心轴 蒸镀 体内 容纳 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀沉积设备，其特征在于，包括：/n一个沉积腔体；/n设置于所述沉积腔体内的基板保持装置，用于固定保持基板；/n线型蒸镀源，所述线型蒸镀源包括一个容纳装置，用于容纳蒸镀材料，所述容纳装置包括一个容纳槽和多个盖板，所述多个盖板中的每个盖板可和所述容纳槽组装或拆分，所述容纳槽每次和所述多个盖板中的一个盖板进行组装；/n所述每个盖板上设置有多个喷嘴，所述多个盖板的喷嘴分布各不相同；所述多个盖板中的每个盖板和所述容纳槽组装后，所述盖板的多个喷嘴都和所述容纳槽的内部相通；/n旋转机构，所述旋转机构使所述基板和所述线型蒸镀源绕所述基板的中心轴相对转动。/n
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