[实用新型]一种石英坩埚的加料器有效
| 申请号： | 201920340779.X | 申请日： | 2019-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN209636365U | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 汪沛渊;张涛;樊同帅;杨俊;廖才超;刘宏磊;邓清香;金浩 | 申请（专利权）人： | 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/02 | 分类号： | C30B15/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 罗满<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 334100江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种石英坩埚的加料器，用于单晶硅生长的二次加料，所述加料器包括圆筒结构，且所述圆筒结构内壁设置有多个凸起于所述圆筒结构内壁的环形保护部件，各个所述环形保护部件沿所述圆筒结构高度方向依次设置。本实用新型中通过在加料器的圆筒结构内壁上设置凸起于内壁的环形保护部件，在采用加料器进行加料时，就对贴近圆筒内壁的硅料存在减速作用，通过多个环形保护部件，依次对硅料进行减速，就能够在很大程度上减小硅料对加料器内壁的磨损，延长加料器的使用寿命，且减小硅料下落至石英坩埚内的溅硅的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 加料器 圆筒结构 内壁 环形保护 硅料 本实用新型 石英坩埚 减小 凸起 单晶硅生长 二次加料 减速作用 使用寿命 依次设置 圆筒内壁 加料 磨损 减速 | ||
【主权项】：
1.一种石英坩埚的加料器，用于单晶硅生长的二次加料，其特征在于，所述加料器包括圆筒结构，且所述圆筒结构内壁设置有多个凸起于所述圆筒结构内壁的环形保护部件，各个所述环形保护部件沿所述圆筒结构高度方向依次设置。/n
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