[实用新型]放膜装置

摘要

本实用新型公开了一种放膜装置，包括送膜滑动座、分膜组件、以及分膜升降驱动组件；分膜升降驱动组件包括分膜连接杆、分膜固定板、分膜升降杆、分膜升降板、以及设于分膜固定板的分膜升降驱动件；分膜组件与分膜升降杆远离分膜升降板的一端相连，分膜升降板与分膜升降驱动件的输出端相连。分膜升降驱动件带动分膜升降板沿分膜升降杆的轴线方向做上升运动，与分膜升降杆的另一端相连的分膜组件随着分膜升降板做同步的上升运动，进而带动分膜组件整体做上升运动，进而将分膜组件上升至一定的高度，使得被分膜组件分离出的干膜以高于晶圆的表面的一定距离移动，避免了干膜移动时触碰晶圆进而使得晶圆偏离贴膜位置的情况发生。

主权项

1.放膜装置，其特征在于，包括送膜滑动座、用于分离干膜与底膜的分膜组件、以及设于所述送膜滑动座且用于带动所述分膜组件沿竖直方向运动的分膜升降驱动组件；所述分膜升降驱动组件包括与所述送膜滑动座相连的分膜连接杆、与所述分膜连接杆相连的分膜固定板、贯穿所述送膜滑动座且与所述送膜滑动座滑动连接的分膜升降杆、与所述分膜升降杆相连的分膜升降板、以及设于所述分膜固定板的分膜升降驱动件；所述分膜组件与所述分膜升降杆远离所述分膜升降板的一端相连，所述分膜升降板与所述分膜升降驱动件的输出端相连。/n