[实用新型]晶圆用自动安装装置有效
| 申请号： | 201920345914.X | 申请日： | 2019-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN209986481U | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 向军;冯霞霞;封浩 | 申请（专利权）人： | 江苏新智达新能源设备有限公司 |
| 主分类号： | B23P19/00 | 分类号： | B23P19/00 |
| 代理公司： | 32333 南京中高专利代理有限公司 | 代理人： | 祝进 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶圆用自动安装装置，包括平板，所述平板的上端面上固定连接有晶圆旋转机构、晶圆抓取机构以及石墨盘移动机构，所述晶圆抓取机构设置在晶圆旋转机构与石墨盘移动机构之间；所述晶圆抓取机构适于将晶圆旋转机构上的晶圆抓取至石墨盘移动机构的石墨盘上。通过晶圆抓取机构将晶圆旋转机构上的晶圆抓取至石墨盘移动机构的石墨盘上，以实现生产的自动化，从而提高生产速度，节省人力物力的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆 石墨盘 旋转机构 移动机构 抓取机构 抓取 自动安装装置 本实用新型 人力物力 上端 种晶 自动化 生产 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆用自动安装装置，其特征在于，包括平板(1)，所述平板(1)的上端面上固定连接有晶圆旋转机构(2)、晶圆抓取机构(3)以及石墨盘移动机构(4)，所述晶圆抓取机构(3)设置在晶圆旋转机构(2)与石墨盘移动机构(4)之间；/n所述晶圆抓取机构(3)适于将晶圆旋转机构(2)上的晶圆抓取至石墨盘移动机构(4)的石墨盘上。/n
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