[实用新型]晶圆夹紧机构

摘要

本实用新型涉及一种晶圆夹紧机构，包括晶圆旋转支撑板，所述晶圆旋转支撑板上开设有旋转孔，所述旋转孔内转动连接有用于安装扩晶环的固定环，所述固定环的上端固定连接有半圆形挡板以及弹簧座，所述半圆形挡板的侧壁面与固定环的上端面之间形成L形支撑槽，所述弹簧座与支撑槽之间形成用于放置晶圆的扩晶环的夹紧区，通过将扩晶环夹紧在弹簧座与支撑槽之间形成夹紧区内，并且在通过固定环可以在晶圆旋转支撑板的旋转孔内转动，从而实现扩晶环在固定后以配合抓手抓取晶圆的效果。

主权项

1.一种晶圆夹紧机构，其特征在于，包括晶圆旋转支撑板(1)，所述晶圆旋转支撑板(1)上开设有旋转孔(11)，所述旋转孔(11)内转动连接有用于安装扩晶环(2)的固定环(3)；所述固定环(3)的上端固定连接有半圆形挡板(31)以及弹簧座(32)，所述半圆形挡板(31)的侧壁面与固定环(3)的上端面之间形成L形支撑槽，所述弹簧座(32)与支撑槽之间形成用于放置晶圆的扩晶环(2)的夹紧区。