[实用新型]一种单晶碳晶纳米镀膜反应器有效
| 申请号： | 201920346984.7 | 申请日： | 2019-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN209652475U | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 卢国东;陈密;顾风军;瞿如娟;黎川 | 申请（专利权）人： | 苏州彩生新材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/04 | 分类号： | C30B29/04;C30B25/00 |
| 代理公司： | 51267 成都为知盾专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 李汉强;杨宜付<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 215400 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶碳晶纳米镀膜反应器，其包括一面敞口的炉体和面板，所述面板安装在炉体的敞口面上整体形成封闭的反应器，所述炉体内设置有隔板，隔板一端安装在炉体内侧壁上，另一端设置为向上倾斜翘起，所述隔板上还设置有两挡板，两挡板之间形成基材放置区域；所述炉体的上端面设置有铜柱和进气口，下端面设置有铜柱和出气口，炉体的一侧壁上设置有进气口，另一个相对的侧壁上设置有激光口。本实用新型结构简单、操作方便、镀膜效率高，具有较好的市场推广价值和应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 炉体 隔板 进气口 本实用新型 挡板 反应器 铜柱 炉体内侧壁 镀膜效率 放置区域 面板安装 纳米镀膜 市场推广 向上倾斜 一端设置 整体形成 敞口的 出气口 和面板 激光口 上端面 下端面 侧壁 敞口 单晶 基材 翘起 碳晶 体内 封闭 应用 | ||
【主权项】：
1.一种单晶碳晶纳米镀膜反应器，其特征在于包括一面敞口的炉体和面板，所述面板安装在炉体的敞口面上整体形成封闭的反应器，所述炉体内设置有隔板，隔板一端安装在炉体内侧壁上，另一端设置为向上倾斜翘起，所述隔板上还设置有两挡板，两挡板之间形成基材放置区域；所述炉体的上端面设置有铜柱和进气口，下端面设置有铜柱和出气口，炉体的一侧壁上设置有进气口，另一个相对的侧壁上设置有激光口。/n
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