[实用新型]一种涂胶显影机晶圆定位装置有效
| 申请号： | 201920354960.6 | 申请日： | 2019-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN209543039U | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 姚舜捷 | 申请（专利权）人： | 上海图双精密装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200000 上海市青浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开一种涂胶显影机晶圆定位装置，包括台面板，台面板的中间通过动力传输装置连接C/S手臂，台面板的两端均通过支撑座安装有晶圆定位块，C/S手臂侧边一体成型有通过动力传输装置伸缩在片盒内拿取晶圆的载具，载具适配4寸晶圆，载具两端设置为便于晶圆定位的圆弧状结构，晶圆定位块的端面均设置有定位槽，定位槽之间相对设置，载具的圆弧状结构和定位槽组成晶圆的定位结构。设计新颖，电气机械组件工作正常，适用于4寸晶圆的C/S手臂,且能够对晶圆进行定位，产能达到涂胶显影机指标要求，实用性能优。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆定位 晶圆 载具 涂胶显影机 定位槽 台面板 动力传输装置 圆弧状结构 手臂 电气机械组件 本实用新型 定位结构 工作正常 两端设置 实用性能 手臂侧边 相对设置 一体成型 指标要求 支撑座 伸缩 产能 拿取 片盒 适配 | ||
【主权项】：
1.一种涂胶显影机晶圆定位装置，包括台面板，其特征在于：台面板的中间通过动力传输装置连接C/S手臂，台面板的两端均通过支撑座安装有晶圆定位块，C/S手臂侧边一体成型有通过动力传输装置伸缩在片盒内拿取晶圆的载具，载具适配4寸晶圆，载具两端设置为便于晶圆定位的圆弧状结构，晶圆定位块的端面均设置有定位槽，定位槽之间相对设置，载具的圆弧状结构和定位槽组成晶圆的定位结构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海图双精密装备有限公司，未经上海图双精密装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920354960.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种医用胶片打印机
- 下一篇：晶圆冷却装置及采用该晶圆冷却装置的光刻机
