[实用新型]一种对真空环境有效密封的MPCVD装置

摘要

本实用新型涉及微波等离子体化学气相沉积技术领域，具体公开了一种对真空环境有效密封的MPCVD装置，包括上盖板、底板及由两者围成的反应腔，在底板与上盖板的连接处通过O型密封圈组进行密封，在底板上与环形泄气通道相对应的圆周上设有第一通气孔，所述第一通气孔的上端与环形泄气通道连接，第一通气孔的下端通过第一出气管与抽真空装置连接。本实用新型能有效隔离外界空气，维持了反应腔内真空工作环境，有效降低了本类型MPCVD设备的真空漏率，最终实现反应腔与外部空气有效隔离，为制备高品质产品提供了有利保障，提高了微波等离子体化学气相沉积产品质量，满足科研和工业化生产需求。

主权项

1.一种对真空环境有效密封的MPCVD装置，包括上盖板、底板及由两者围成的反应腔，在上盖板的顶部设置有进气口，在底板上设置有抽气口，所述抽气口接入抽真空装置，将反应腔抽为真空环境；还包括沉积台和微波石英窗，微波石英窗为圆环形，设于沉积台与底板之间，通过微波石英窗将反应腔与外界空气隔离，其特征在于，在底板与上盖板的连接处通过O型密封圈组进行密封，所述O型密封圈组包括呈同心圆设置的外密封圈及内密封圈，所述O型密封圈组设于底板上的第一密封槽内，两圈第一密封槽间通过环形泄气通道相连通，在底板上与环形泄气通道相对应的圆周上设有第一通气孔，所述第一通气孔的上端与环形泄气通道连接，第一通气孔的下端与第一出气管连接，第一出气管下部与抽真空装置连接。/n