[实用新型]投入式石英碳素加热槽有效
| 申请号： | 201920361617.4 | 申请日： | 2019-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN209487472U | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 王静强;徐福兴 | 申请（专利权）人： | 昆山基侑电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型为了解决现有的循环槽的密封性达不到完全隔绝化学药剂的效果，提供了一种包括聚丙烯外槽体、石英内槽体、Z型石英碳素加热器、铁氟龙槽盖和液压缸的投入式石英碳素加热槽，石英内槽体安装于聚丙烯外槽体中，石英内槽体的槽底固设有承托Z型石英碳素加热器的托块，聚丙烯外槽体的槽口处安装有密封垫，铁氟龙槽盖采用转轴安装于槽体顶部，液压缸作为动力源带动铁氟龙槽盖旋转打开和关闭，实现了槽盖的一键开关功能，液压缸将槽盖紧压在密封垫上，能有效隔绝槽内化学药剂散出，保护操作人员安全。 | ||
| 搜索关键词： | 槽盖 聚丙烯 石英 石英内槽体 铁氟龙 外槽体 液压缸 碳素加热器 化学药剂 加热槽 密封垫 投入式 碳素 本实用新型 槽体顶部 人员安全 旋转打开 一键开关 槽口处 动力源 密封性 循环槽 承托 紧压 托块 转轴 | ||
【主权项】：
1.投入式石英碳素加热槽，其特征在于，包括聚丙烯外槽体、石英内槽体、Z型石英碳素加热器、铁氟龙槽盖和液压缸，所述石英内槽体安装于所述聚丙烯外槽体中，所述石英内槽体的槽底固设有承托所述Z型石英碳素加热器的托块，所述Z型石英碳素加热器的电连接端从所述石英内槽体的槽口向外弯折延伸至所述聚丙烯外槽体的外部；所述聚丙烯外槽体的槽口处安装有密封垫，所述密封垫的底部对应所述Z型石英碳素加热器的电连接端设置有让位凹槽；所述铁氟龙槽盖采用转轴安装于所述槽体顶部，所述液压缸作为动力源带动所述铁氟龙槽盖旋转。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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