[实用新型]一种三维旋转蒸发电镀装置有效
| 申请号： | 201920368126.2 | 申请日： | 2019-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN209836288U | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 张斌;廖敬成;王欢欢;潘毅;郑福兵 | 申请（专利权）人： | 广东正和诚信塑胶制品有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 44345 中山市兴华粤专利代理有限公司 | 代理人： | 翁晓婵 |
| 地址： | 518117 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种三维旋转蒸发电镀装置，包括主转盘、旋转底座、主旋转轴及次旋转轴，所述主转盘上设置若干个旋转底座，每一所述旋转底座上设置一主旋转轴及若干个次旋转轴，所述主旋转轴贯穿旋转底座并与旋转底座固定连接，所述主旋转轴贯穿旋转底座后于旋转底座下方与第一齿轮固定连接，每一所述次旋转轴分别与旋转底座下方的若干个第二齿轮一一对应固定连接，所述第一齿轮与其对应的若干第二齿轮咬合连接。所述三维旋转蒸发电镀装置，实现工件镀膜时的三维旋转，镀膜的膜层厚度均匀，镀膜特性稳定，镀膜效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转底座 主旋转轴 次旋转轴 三维旋转 齿轮 镀膜 电镀装置 主转盘 蒸发 齿轮咬合 镀膜效率 厚度均匀 贯穿 膜层 | ||
【主权项】：
1.一种三维旋转蒸发电镀装置，其特征在于：包括主转盘(100)、旋转底座(102)、主旋转轴(103)及次旋转轴(104)，所述主转盘上设置若干个旋转底座，每一所述旋转底座上设置一主旋转轴及若干个次旋转轴，所述主旋转轴贯穿旋转底座并与旋转底座固定连接，所述主旋转轴贯穿旋转底座后于旋转底座下方与第一齿轮(106)固定连接，每一所述次旋转轴分别与旋转底座下方的若干个第二齿轮(107)一一对应固定连接，所述第一齿轮与其对应的若干第二齿轮咬合连接。/n
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