[实用新型]检测装置和检测系统有效
| 申请号： | 201920370937.6 | 申请日： | 2019-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN210108895U | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 徐义;李定伟 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/04 | 分类号： | G01N15/04 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 覃婧婵 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种检测装置和检测系统，用以避免在测量沉积速率时受温度影响，从而提高测量沉积速率的准确率。所述检测装置，用于测量沉积速率，包括：遮光筒，用于提供一封闭遮光空间；光源和光照传感器，均设置在所述遮光筒内，所述光源和所述光照传感器相对设置；载体，设置在所述光源和所述光照传感器之间且位于所述遮光筒内，所述载体表面沉积有待测薄膜；所述光照传感器用于检测所述光源的光照穿过所述待测薄膜后的光照强度；控制器，与所述光照传感器连接，所述控制器用于根据所述光照传感器检测的光照强度、所述光源的光照强度以及所述待测薄膜沉积时间，确定所述待测薄膜的沉积速率。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 系统 | ||
【主权项】：
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