[实用新型]一种真空磁控溅射镀膜机有效
| 申请号： | 201920376263.0 | 申请日： | 2019-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN209798093U | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 董旺鹏 | 申请（专利权）人： | 厦门正顺兴钛金科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361000 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空磁控溅射镀膜机，包括真空室，所述真空室上设置有门体，所述真空室上开设有抽气口，所述真空室外设置有与所述抽气口连通的抽气系统，所述门体转动连接在所述真空室上，所述真空室上设置有锁定组件以及助开组件，所述助开组件包括助开杆，所述助开杆转动设置在所述真空室外，且所述助开杆的一端抵紧在所述门体上，另一端朝向远离所述真空室的一侧延伸。通过设置助开组件，当镀膜工作完成需要将基片取出的时候，工作人员打开锁定组件后，只需要通过按压助开杆，即可将门体从真空室推开来，继而方便将门体打开。当真空室内的真空度不够高时，能够控制磁控溅射装置停止工作，继而保护设备。 | ||
| 搜索关键词： | 真空室 锁定组件 抽气口 门体 真空磁控溅射镀膜机 磁控溅射装置 按压 本实用新型 保护设备 抽气系统 室外设置 转动连接 转动设置 组件包括 抵紧 镀膜 连通 取出 室外 室内 推开 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种真空磁控溅射镀膜机，包括真空室(1)，所述真空室(1)上设置有门体(10)，所述真空室(1)上开设有抽气口(2)，所述真空室(1)外设置有与所述抽气口(2)连通的抽气系统(3)，其特征在于：所述门体(10)转动连接在所述真空室(1)上，所述真空室(1)上设置有助开组件(15)，所述助开组件(15)包括助开杆，所述助开杆转动设置在所述真空室(1)外，且所述助开杆的一端抵紧在所述门体(10)上，另一端朝向远离所述真空室(1)的一侧延伸。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于厦门正顺兴钛金科技有限公司，未经厦门正顺兴钛金科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920376263.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
