[实用新型]高开关比石墨烯异质结场效应管有效
| 申请号： | 201920380500.0 | 申请日： | 2019-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN209766424U | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 曾荣周;周细凤 | 申请（专利权）人： | 湖南工业大学 |
| 主分类号： | H01L29/10 | 分类号： | H01L29/10;H01L29/16;H01L21/335;H01L29/778 |
| 代理公司： | 43108 湘潭市汇智专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 宋向红 |
| 地址： | 412007 *** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高开关比石墨烯异质结场效应管，包括衬底，衬底上设有沟道材料层石墨烯，沟道材料层石墨烯中部为栅电极区域，栅电极区域上沉积有栅介质，栅介质上沉积有栅金属以形成栅极，栅电极区域两侧分别为源极区域和漏极区域，源极区域、漏极区域分别沉积有源漏金属以形成源漏极，所述沟道材料层石墨烯与衬底之间或沟道材料层石墨烯与栅介质之间设有用于与石墨烯形成异质结的材料层。本实用新型通过在石墨烯沟道下方或上方引入其它材料，形成石墨烯异质结，在栅电压的电场效应的作用下，使异质结石墨烯中的载流子发生耗尽或积累，从而使石墨烯异质结场效应管获得高开关比源漏电流。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨烯 沟道材料层 异质结 栅电极 栅介质 衬底 沉积 异质结场效应管 本实用新型 漏极区域 源极区域 开关比 载流子 电场效应 源漏电流 源漏金属 材料层 源漏极 栅电压 栅金属 沟道 耗尽 引入 积累 | ||
【主权项】：
1.一种高开关比石墨烯异质结场效应管，其特征在于：包括衬底，衬底上设有沟道材料层石墨烯，沟道材料层石墨烯中部为栅电极区域，栅电极区域上沉积有栅介质，栅介质上沉积有栅金属以形成栅极，栅电极区域两侧分别为源极区域和漏极区域，源极区域、漏极区域分别沉积有源漏金属以形成源漏极，所述沟道材料层石墨烯与衬底之间或沟道材料层石墨烯与栅介质之间设有用于与石墨烯形成异质结的材料层。/n
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