[实用新型]一种铝管柱状电极等离子腔体有效
| 申请号： | 201920380554.7 | 申请日： | 2019-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN209914160U | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 郭峰;国际瑞;陈晓明;王宇 | 申请（专利权）人： | 昆山普乐斯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;B08B7/00 |
| 代理公司： | 32224 南京纵横知识产权代理有限公司 | 代理人： | 母秋松;董建林 |
| 地址： | 215313 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种铝管柱状电极等离子腔体，所述箱体两侧壁之间贯穿有多对铝管组，每对铝管组上下相邻设置，铝管组包括多根铝管，多根铝管一字排列，铝管一端固定在箱体一侧内壁，铝管另一端穿过箱体另一侧壁，铝管的末端均通过电极板相连接；箱体背面设置有抽真空口；箱体正面通过铰链转动连接有箱门，箱门自由端设置有门锁，箱门上设置有进气孔。本实用新型通过多对铝管组的排列结构设计，提高了反应气体的流动性，增加了清洗的均一性。本设计结构合理、易于维护、清洗效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 铝管 本实用新型 箱门 等离子腔体 箱体两侧壁 抽真空口 反应气体 铰链转动 排列结构 清洗效果 设计结构 相邻设置 箱体背面 箱体正面 一字排列 柱状电极 电极板 进气孔 均一性 自由端 门锁 内壁 清洗 穿过 贯穿 维护 | ||
【主权项】：
1.一种铝管柱状电极等离子腔体，包括：箱体，其特征在于：所述箱体两侧壁之间贯穿有多对铝管组，每对铝管组上下相邻设置，铝管组包括多根铝管，多根铝管一字排列，铝管一端固定在箱体一侧内壁，铝管另一端穿过箱体另一侧壁，铝管的末端均通过电极板相连接；箱体背面设置有抽真空口；箱体正面通过铰链转动连接有箱门，箱门自由端设置有门锁，箱门上设置有进气孔。/n
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