[实用新型]晶圆清洗用无机溶剂在线加热器有效
| 申请号： | 201920384250.8 | 申请日： | 2019-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN209810787U | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 王静强;陈亮 | 申请（专利权）人： | 昆山基侑电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B13/00;F24H1/18;F24H9/18;F24H9/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种包括石英加热桶、石英管、石英套管、外丝式加热器和外丝式K型热电偶的晶圆清洗用无机溶剂在线加热器；所述石英加热桶具有凸在外部的进液管和出液管；所述石英管平行设置于所述加热桶内，其两端连接在所述石英加热桶的内壁上；所述外丝加热器安装于所述石英管内；所述石英套管位于所述加热桶内，所述外丝式K型热电偶安装于所述石英套管内。本实用新型利用外丝式加热器对无机溶剂加热，并将其安装在石英管内，并外丝式K型热电偶安装在石英套管内，避免加热丝直接接触化学品，防止加热器老化，同时也防止避免污染无机溶剂，保障无机溶剂的洁净度。 | ||
| 搜索关键词： | 外丝 加热桶 石英套管 无机溶剂 石英管 加热器 石英 本实用新型 加热器安装 在线加热器 避免污染 晶圆清洗 平行设置 出液管 化学品 加热丝 洁净度 进液管 内壁 加热 老化 外部 | ||
【主权项】：
1.晶圆清洗用无机溶剂在线加热器，其特征在于，包括石英加热桶、石英管、石英套管、外丝式加热器和外丝式K型热电偶；所述石英加热桶具有凸在外部的进液管和出液管；所述石英管平行设置于所述加热桶内，其两端连接在所述石英加热桶的内壁上；所述外丝加热器安装于所述石英管内；所述石英套管位于所述加热桶内，所述外丝式K型热电偶安装于所述石英套管内。/n
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