[实用新型]一种晶圆烘干槽有效
| 申请号： | 201920385201.6 | 申请日： | 2019-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN209820039U | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 王静强;徐福兴 | 申请（专利权）人： | 昆山基侑电子科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/06 | 分类号： | F26B9/06;F26B21/14;F24H9/20;H01L21/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种晶圆烘干槽，包括石英内槽体以及外槽体；所述石英内槽体底端设置有石英碳素加热器，所述石英内槽体通过支撑架与氮气加热器相连接，所述氮气加热器与石英碳素加热器位置相对应，所述外槽体的侧边设置有有杆水缸。本实用新型一种晶圆烘干槽，结构简便，减少加热时间，可以有效的提高运行效率。 | ||
| 搜索关键词： | 石英内槽体 本实用新型 氮气加热器 碳素加热器 烘干槽 外槽体 石英 种晶 运行效率 支撑架 水缸 侧边 底端 加热 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆烘干槽，其特征在于：包括石英内槽体(1)以及外槽体(2)；所述石英内槽体(1)底端设置有石英碳素加热器(3)，所述石英内槽体(1)通过支撑架与氮气加热器(5)相连接，所述氮气加热器(5)与石英碳素加热器(3)位置相对应，所述外槽体(2)的侧边设置有有杆水缸(4)。/n
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